三维光刻技术在微透镜制作方面的应用

 微透镜阵列是由直径从几百纳米到几毫米的子透镜在基板上按一定排列顺序组成的，单元数目从几千到几万不等。由于微透镜阵列中的每一个子透镜都拥有的光轴，若所有子透镜的参数相同，则他们的光学性能都应相同，而将所有的单元结构作为一个阵列整体时，又拥有一个主光轴。因此与传统的单透镜相比，微透镜阵列拥有极高的并行性，每个子透镜可以相互独立的传输光学信号，互不干扰，就相当于存在着大量的二维并行光路，每个子透镜都具有对光信息进行传输、变换成像等功能。制作微透镜阵列有许多方式，我们列举几个常见的制作方式，并着重看下三维光刻技术在微透镜制作方面的应用

一、微透镜阵列的分类

微透镜阵列根据外形的不同，可分为平面微透镜阵列和曲面微透镜阵列。

•平面微透镜阵列较为常见，每个子透镜光轴相互平行，如应用在光场相机和一些 CCD 传感器中的微透镜阵列；

•昆虫的复眼结构就是典型的曲面微透镜阵列，具有大视角，高分辨率等优点。

除却外形分类方法，还可以依据光的折射和衍射原理将微透镜阵列分为折射型微透镜阵列和衍射型微透镜阵列。

•子透镜表面呈现光滑且连续状的多为折射型微透镜阵列，在成像显示、光束准直、光互联以及微扫描等方面有较多的应用；

•表面呈现浮雕结构的往往是衍射型微透镜阵列，在图像识别与处理、电光探测器、空间光学等领域有较多的应用。